| 源水 | 脫鹽率 | TOC | Zn | Mn | Cl- | SO42- | SiO2 | 熱源（EU/ml） | 化學需氧量 |
| | | 去除率 | 去除率 | 去除率 | 去除率 | 去除率 | 去除率 | | 去除率 |
| 單蒸水 | 98.97% | >82.95% | >99.6% | >97.67% | >99.98% | >99.99% | >99.99% | <0.03 | >85.71% |
| 雙蒸水 | 99.39% | >88.64% | >99.6% | >97.67% | >99.99% | >99.99% | >99.99% | <0.03 | >85.71% |
| | | | | | | | | | |
| 注： | 1，普通市政自來水經過軟水柱處理 | | | | | | |||
| | 2，蒸餾水器需在良好的工作狀態下工作 | | | | | | |||
| | 3，檢測方法：日本 JIS KO553，KO555，KO557 | | | | | ||||
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